13SECS/GEM 通信基础EAP核心协议一、本课学习目标理解SECS/GEM是什么在半导体自动化中的核心作用掌握SECS/GEM的基础架构Host - Equipment 通信模式分清SECS-I、HSMS、SECS-II、GEM各自的功能认识SxFy标准消息知道常用消息用途建立EAP与机台通信的底层逻辑看懂通信日志掌握通信建立、断开、异常的基础判断方法二、SECS/GEM 基础定义1. SECS全称Semiconductor Equipment Communication Standard半导体设备通信标准定义消息格式、数据结构、交互规则2. GEM全称Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment基于SECS的通用设备通信模型规定机台必须支持的标准功能、状态、报警、流程3. 一句话总结SECS 通信语法GEM 通信规范EAP ←SECS/GEM→ 机台Equipment三、SECS/GEM 通信架构1. 通信角色Host上位系统EAP/MESEquipment机台设备方向Host主动发起Equipment被动响应2. 传输层两种SECS-IRS-232串口老式机台HSMSTCP/IP网络通信现在主流IP Port 方式连接标准端口5000、50013. 标准分层应用层GEM 规范SxFy消息、状态机、报警、流程消息层SECS-II 消息格式、数据类型传输层HSMS(IP) / SECS-I(串口)物理层网口 / 串口四、SECS-II 核心基础1. 消息结构SxFyStream x Function yS消息大类F具体功能示例S1F1、S1F2、S2F332. 方向规则Host → Equipment奇数FF1/F3/F5…Equipment → Host偶数FF2/F4/F6…规则一发一应答3. 常用数据类型BOOLEAN 布尔INT 整型FLOAT 浮点ASCII 字符串LIST 列表组合数据五、GEM 标准核心内容1. 设备状态机Equipment StatusIDLE 空闲RUN 运行PAUSE 暂停STOP 停止ERROR 错误2. 控制状态ONLINE 联机EAP可控制OFFLINE 脱机EAP不可控制LOCAL 本地机台手动REMOTE 远程EAP自动3. 标准功能设备状态上报报警上报流程程序Recipe管理加工数据上报设备控制Start/Stop/Pause六、EAP 必背常用 SxFy 消息1. S1F1 / S1F2功能Hello握手通信连通测试作用EAP与机台建链后第一条消息2. S1F13 / S1F14功能读取机台状态作用判断机台是否在线、是否可跑货3. S2F17 / S2F18功能读取/设置时间作用EAP同步机台时间4. S2F33 / S2F34功能设备状态变更上报作用机台主动发状态给EAP5. S5F1 / S5F2功能报警消息作用机台报警自动上送EAP6. S6F11 / S6F12功能工艺数据上报Trace/Data作用EAP采集数据上传FDC7. S7F3 / S7F4功能Recipe流程程序下载作用EAP下发工艺参数8. S10F3 / S10F4功能文本消息发送作用EAP与机台信息交互七、SECS/GEM 通信建立流程EAP配置机台IP PortTCP/HSMS连接建立发送S1F1握手 → 接收S1F2读取机台状态S1F13切换ONLINE/REMOTE状态开始正常监控与控制八、通信异常常见场景1. 连接失败IP/Port错误机台SECS/GEM未开启网络不通防火墙拦截2. 收不到消息机台OFFLINE机台LOCAL模式消息格式错误3. 指令无响应机台报警/Interlock条件不满足权限不足九、EAP 与 SECS/GEM 的关系EAP是SECS/GEM的Host端EAP通过SxFy消息实现机台状态监控报警采集Recipe下发流程控制Start/Load/Unload数据采集EAP不修改机台程序只做标准通信十、本课核心总结SECS/GEM 半导体机台标准通信语言Host EAPEquipment 机台HSMS TCP/IP主流SECS-I 串口老式SxFy奇数请求偶数应答EAP核心工作建链、监控、控制、采集、上报通信故障先查网络 → 连接 → 模式 → 消息十一、课后小作业写出SECS/GEM的全称与作用画出SECS/GEM四层架构写出5个最常用SxFy消息及功能描述EAP与机台建立通信的完整流程列出3种通信失败原因及排查方法