从薄膜原理、设计到工艺线下课程(4.24-4.26)
课程概要当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时既可以着手选用所需的基板 镀膜材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手例如高反射镜不管波宽大小开 始我们一定是以四分之一波膜堆为设计基础倘若是截止滤光片则应以对称膜堆为设计基础。 当初始设计无法满足要求时我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化 设计好之后即刻进行制造成功率分析亦看膜层厚度的误差值的容许度若是镀膜机的精密 度做不到则要修改设计重新分析直达合格为止。透明塑料基板质轻价廉而且容易成型为非球面透镜被广泛采用在光学系统中如眼睛 镜片、相机透镜、手机镜头、及显示器面板如 OLED近眼显示应用。但塑性及软性基板的 低密度致使其具有吸水性从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容 易刮伤、需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射还要兼具免受刮伤的保护。本 课程会从这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。课程大纲1. Essential Macleod 软件介绍1.1 介绍软件1.2 运行程序1.3 创建一个简单的设计1.4 绘图和制表来表示性能1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 1.6 创建一个默认设计1.7 文件位置1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义1.10 厚度(物理厚度光学厚度[FWOT,QWOT]几何厚度)1.11 单位定义1.12 软件如何进行数据插值1.13 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) 1.14 特定设计的公式技术1.15 交互式绘图2. 光学薄膜理论基础2.1 介质和波2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算2.4 后表面对光学薄膜特性的影响2.5 光学薄膜设计理论3. 理论技术3.1 参考波长与 g3.2 四分之一规则3.3 导纳与导纳图3.4 斜入射光学导纳3.5 对称周期4. 光学薄膜设计4.1 光学薄膜设计的进展4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题4.3 光学薄膜设计技巧4.4 特殊光学薄膜的设计方法4.5 Macleod 软件的设计与优化功能4.5.1 优化目标设置4.5.2 优化方法(单一优化合成优化模拟退火法共轭梯度法准牛顿法针形优化差 分演化法)4.5.3 膜层锁定和链接5. 常规光学薄膜系统设计与分析5.1 减反射薄膜5.2 分光膜5.3 高反射膜5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片5.6 负滤光片5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片5.8 Vstack 薄膜设计示例5.9 Stack 应用范例说明6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜6.1 背景介绍6.2 产品特性6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析7. 防雾薄膜7.1 自清洁效应7.2 超亲水薄膜7.3 超疏水薄膜7.4 防雾薄膜的制备7.5 防雾薄膜的性能测试8. 材料管理8.1 光学薄膜材料性能及应用评述8.2 金属与介质薄膜8.3 材料模型8.4 介质薄膜光学常数的提取8.5 金属薄膜光学常数的提取8.6 基板光学常数的提取8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 9. 薄膜制备技术9.1 常见薄膜制备技术9.2 光学薄膜制备流程9.3 淀积技术9.4 工艺因素10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 10.1 光学薄膜监控技术10.2 误差分析与监控决策10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 10.4 膜系灵敏度分析10.5 膜系容差分析10.6 误差分析工具11. 反演工程11.1 镀膜过程中两种主要的误差(系统误差和随机误差) 11.2 使用反演工程来控制对设计的搜索12. 应力、张力、温度和均匀性工具12.1 光学性质的热致偏移12.2 应力工具12.3 均匀性误差(圆锥工具、波前问题)13. Function 功能扩展13.1 如何在 Function 中编写操作数13.2 如何在 Function 中编写脚本14. 光学薄膜特性测量14.1 薄膜光学常数的测量14.2 薄膜堆积密度的测量14.3 薄膜微观结构分析14.4 薄膜成分分析14.5 薄膜硬度、附着性及耐摩擦性的测量14.6 薄膜表面粗糙度的测量15. 项目管理与应用实例15.1 项目管理15.2 光学薄膜项目开发过程15.3 客户需求分析15.4 文档管理与报表生成15.5 【案例分析】Macleod 软件在太阳能薄膜中的应用15.6 【案例分析】Macleod 软件在激光薄膜设计分析中的应用 15.7 【案例分析】Macleod 软件在光电功能薄膜中的应用 15.8 仿生蛾眼结构在显示技术上的应用15.9 OLED薄膜及微腔效应15.10 金属线栅偏振器16. QA想报名学习的可以私信联系作者