编号类型力学/物理领域子领域核心数学方程式/算法模型 (含连续与非连续介质力学)关键参数与数值 (材料科学与工艺)物理机制与设计考量关联知识实现工具与工艺考量A197制造设备 (光刻机工件台)​振动力学/精密运动控制​超精密步进扫描运动平台的振动抑制与同步1.多体动力学：Mx¨+Cx˙+Kx=Fact​+Fdist​， 其中 M， C， K为质量、阻尼、刚度矩阵，Fdist​为地面振动、气动等干扰力。2.同步误差：Δe(t)=yreticle​(t)−NM​ywafer​(t)， 其中 M/N为缩倍率，需控制在纳米级。3.迭代学习控制：uk+1​(t)=uk​(t)+L⋅ek​(t+τ)， 用于补偿重复性轨迹误差。4.非连续介质-摩擦学/