28Event Report事件上报CEID配置与应用一、本课学习目标掌握Event事件、CEID编号基础定义与GEM规范理解S6F13/S6F14事件上报报文交互逻辑分清产线常用事件分类、触发时机学会EAP配置CEID订阅、缺事件的排查思路明白事件数据对接MES、FDC的业务作用二、基础概念说明1. Event Report事件设备运行中关键动作、状态变更、生产节点发生时设备主动上报的记录信息。上报报文S6F13设备→EAPW0无需应答EAP如需订阅配置提前约定CEID清单写入EAP配置2. CEIDCollection Event ID事件唯一编号机台原厂固定定义每一个事件对应独立CEID机台手册Communication手册可查询全部CEID清单、事件说明EAP只订阅需要的CEID未订阅事件设备不会主动上抛S6F133. 事件携带内容CEID编号 事件发生时间 绑定SV/DV变量数据附带对应参数三、现场四大类常用事件清单1. 生产Lot相关事件MES对接核心Lot Start批次开始加工Lot End批次加工完工FOUP Load/Unload料盒上下机台作用MES凭事件做工单开工、完工入库、产能统计2. 机台状态变更事件IDLE→RUN、RUN→PAUSE、LOCAL↔REMOTE、ONLINE↔OFFLINE切换作用EAP界面状态联动刷新、稼动统计3. Recipe相关事件配方下载完成、配方激活、配方切换作用记录配方变更履历R2R参数变更追溯4. 传输动作事件机械手取片、晶圆到位、腔体开关腔门、Port开关作用FDC绑定单片生产节点分段采集工艺数据四、S6F13/S6F14交互规则S6F13设备主动上报事件W0异步上报S6F14仅Host下发订阅配置时应答正常事件上报不用回复机台只有EAP订阅过对应CEID才会触发S6F13上报五、EAP配置CEID标准流程查阅机台GEM手册导出本机台全部CEID列表与注释筛选产线需要的事件Lot启停、状态、Recipe、传输事件在EAP配置页录入CEID编号、事件名称EAP通过对应SECS指令向机台完成订阅重启通信链路生效配置等待设备触发事件上送S6F13六、事件异常排查收不到事件S6F13故障1完全无任何事件上报CEID未在EAP配置、未向机台订阅机台侧GEM事件上报功能被关闭EAP与机台SECS通信异常故障2个别事件缺失如Lot End不上报对应CEID漏配置机台该事件触发逻辑故障机台屏蔽该CEID上报故障3事件上报但是MES收不到EAP内部转发配置异常、接口中断七、事件在产线上下游数据流向设备触发事件→S6F13→EAP→一路上传MES做生产管控一路推送FDC绑定工艺曲线八、本课核心总结事件上报载体S6F13W0设备主动上送CEID是事件唯一编码配置订阅是收到事件的前提事件分四大类生产Lot、状态、Recipe、传输动作收不到事件优先查CEID配置→订阅生效→机台上报开关事件是MES工单闭环、FDC分批次数据的关键数据源九、课后小作业事件上报对应哪条SECS消息、W位数值CEID全称与作用是什么列出四类常用事件并举例收不到Lot Start事件排查三步法简述事件完整数据流转路径